História do cliente
Uma empresa de semicondutores sem fábrica que externaliza a produção de chips avançados.O quarto limpo existente não podia atender aos rigorosos requisitos de vibração e pureza do ar para litografia de imersão de 193nm., causando perda de rendimento.
Necessidades e desafios
·Classe ISO 5 (Classe 100) na superfície da bolacha.
·Controle rigoroso da temperatura: 22 ± 0,1 °C através da zona de fotolitografia.
·Tempo de inatividade curto: apenas 1 mês disponível para modernizar a baía existente.
Solução
·Projeto de mini-ambiente: isolamento do passo-a-passo com unidades de filtros de ventilador (FFU) e filtros químicos para AMC.
·Isolamento de vibração ativo: Bloco de inércia de concreto + isoladores pneumáticos para satisfazer os critérios VC-D.
·HVAC de alta precisão: circuitos duplos de água arrefecida com aquecimento, além de terminais de volume de ar variável (VAV).
·Painéis pré-fabricados: painéis de aço inoxidável fabricados no exterior com juntas de bloqueio por camadas. Instalados durante uma paralisação de manutenção prevista
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Feedback do cliente
¢Yaning compreendeu os nossos requisitos de ferramentas melhor do que outros empreiteiros de salas limpas.
¢ Gerente de instalações, cliente de semicondutores
Resumo
A Yaning é especializada no campo da engenharia de salas limpas. Estamos dedicados a criar ambientes de produção limpos que melhorem diretamente a eficiência de fabricação.As nossas soluções modulares representam uma escolha ideal para zonas de produção limpas no sector da manufatura.